在C#中使用OPC UA服務器，您需要遵循以下步驟：

1. 安裝OPC UA SDK：首先，您需要安裝一個OPC UA SDK，例如OPC Foundation的OPC UA .NET Standard庫。您可以通過NuGet包管理器將其添加到項目中。在Visual Studio中，轉到“工具”>“NuGet包管理器”>“管理解決方案的NuGet包”，然后搜索并安裝“OPCFoundation.NetStandard.Opc.Ua”。

2. 創建OPC UA服務器實例：在項目中創建一個新的C#類，該類將繼承自Opc.Ua.ServerBase。這是一個抽象基類，用于創建自定義的OPC UA服務器。

using Opc.Ua;
using Opc.Ua.Server;

namespace MyOpcUaServer
{
    public class MyOpcUaServer : ServerBase
    {
        // ...
    }
}

3. 初始化服務器：在您的自定義服務器類中，重寫Initialize方法以初始化服務器。這里，您可以設置服務器的應用程序URI、產品名稱和版本等信息。

protected override void Initialize(ApplicationConfiguration configuration)
{
    base.Initialize(configuration);

    // 設置服務器信息
    ServerDescription.ApplicationUri = "urn:MyOpcUaServer";
    ServerDescription.ProductUri = "urn:MyOpcUaServer";
    ServerDescription.ApplicationName = new LocalizedText("en-US", "My OPC UA Server");
    ServerDescription.ApplicationType = ApplicationType.Server;

    // 添加節點（對象、變量等）到地址空間
    // ...
}

4. 添加節點到地址空間：在Initialize方法中，您可以向服務器的地址空間添加節點（如對象、變量等）。這些節點可以表示現實世界中的實體或概念。

private void AddNodes()
{
    // 創建一個文件夾對象
    var folder = new FolderState(null)
    {
        NodeId = new NodeId("MyFolder", NamespaceIndex),
        BrowseName = new QualifiedName("MyFolder", NamespaceIndex),
        DisplayName = new LocalizedText("en-US", "My Folder"),
        WriteMask = AttributeWriteMask.None,
        UserWriteMask = AttributeWriteMask.None,
        EventNotifier = EventNotifiers.None
    };

    // 將文件夾添加到地址空間
    AddPredefinedNode(SystemContext, folder);

    // 創建一個變量
    var variable = new BaseDataVariableState<int>(folder)
    {
        NodeId = new NodeId("MyVariable", NamespaceIndex),
        BrowseName = new QualifiedName("MyVariable", NamespaceIndex),
        DisplayName = new LocalizedText("en-US", "My Variable"),
        WriteMask = AttributeWriteMask.None,
        UserWriteMask = AttributeWriteMask.None,
        AccessLevel = AccessLevels.CurrentReadOrWrite,
        UserAccessLevel = AccessLevels.CurrentReadOrWrite,
        Historizing = false,
        MinimumSamplingInterval = 0,
        Value = new Variant(0)
    };

    // 將變量添加到地址空間
    AddPredefinedNode(SystemContext, variable);
}

5. 啟動和停止服務器：在您的自定義服務器類中，實現Start和Stop方法以啟動和停止服務器。

public void Start()
{
    try
    {
        // 加載應用程序配置
        var configuration = LoadApplicationConfiguration();

        // 初始化服務器
        Initialize(configuration);

        // 添加節點到地址空間
        AddNodes();

        // 啟動服務器
        Startup();
    }
    catch (Exception ex)
    {
        Console.WriteLine($"Error starting server: {ex.Message}");
    }
}

public void Stop()
{
    try
    {
        // 停止服務器
        Shutdown();
    }
    catch (Exception ex)
    {
        Console.WriteLine($"Error stopping server: {ex.Message}");
    }
}

6. 在主程序中啟動和停止服務器：在您的主程序中，創建一個自定義服務器實例，并調用Start和Stop方法。

class Program
{
    static void Main(string[] args)
    {
        var server = new MyOpcUaServer();

        // 啟動服務器
        server.Start();

        // 等待用戶按下任意鍵以停止服務器
        Console.WriteLine("Press any key to stop the server...");
        Console.ReadKey(true);

        // 停止服務器
        server.Stop();
    }
}

現在，您已經創建了一個簡單的OPC UA服務器。您可以使用OPC UA客戶端（如UaExpert）連接到此服務器并瀏覽、讀取和寫入節點。